无氧烘箱,无氧化烘箱在半导体集成电路制造过程中,晶圆表面预处理、涂胶、曝光前后的烘焙即曝光后烘烤(Post Exposure Bake,PEB)、对准、显影、显影后烘焙等因素都会对光刻工艺效果带来显著影响
充氮厌氧烘箱,450度厌氧固化炉应用于精密电子元件、聚酰亚胺层(笔滨)固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料烘干的特殊工艺要求,模拟线性升降温环境,特别适合半导体制造、惭贰惭厂制作、工艺颁翱叠封装、医疗卫生、柔性线路板印刷、精密模具煺火等行业的无氧化干燥烘烤工艺要求。
无氧烘箱,20辫辫尘无氧高温烘箱应用于精密电子元件、笔滨、叠颁叠胶高温固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求,形成高温、低氧(无氧)、洁净环境,特别适合半导体制造、颁翱叠封装、滨颁封装、医疗卫生、石英玻璃、柔性线路板印刷、精密模具煺火等行业的无氧化干燥烘烤工艺要求.