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电子真空储存柜，半导体真空存储箱应用

&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;半导体、半导体巴条、电路板、电子成品、芯片、电池板、电池片、电子元器件、高级金属制品、厌氧产物、易氧化产物等生产制造领域，这些电子产物如何长期保存、以及生产过程中如果有效保存，是一项关键工艺。常规在大气下保存，由于温度、湿度、洁净度等因素的原因，会对电子器件质量造成较大影响。

&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;主要用于储存光学零件、半导体元器件、金属材料、精密机械、电子零件、化工产物、化工原料、稀土材料、蓝景膜、厌氧材料、易氧化材料及不便于冷藏的珍贵食品，肉食蔬菜果品及中西药品以及易潮湿的衣物床上用品等。

电子真空储存柜，半导体真空存储箱性能

内尺寸：400mm×400mm×300mm（宽×深×高），多尺寸定制

箱数：1-12箱体，多开门，独立控制

材质：&苍产蝉辫;内箱采用SUS304不锈钢，内表面镜面抛光，外箱采用优质冷轧板静电喷塑，或不锈钢

温度：&苍产蝉辫;无需温度监控及控制，可定制高温

真空度&苍产蝉辫;：≤10pa,数字显示（单箱指标）

抽速：&苍产蝉辫;从1atm-10Pa时间≤3min（单箱指标）

电源及功率：&苍产蝉辫;AC 220V±10% / 50HZ       总功率约0.8KW    

操做界面：&苍产蝉辫;彩色触摸屏界面，集成式控制，位于箱体上方

分层数&苍产蝉辫;：二层（单箱指标）

真空泵：&苍产蝉辫;涡旋干泵

腔门密封圈：&苍产蝉辫;采用耐高温硅橡胶密封圈，密封圈采用一体成型无缝加工

氮气控制：&苍产蝉辫;可调式转子氮气流量计

安保装置：&苍产蝉辫;安全的接地保护装置

电子真空储存柜的结构：

真空储存柜主要由3部分组成：真空系统、测量系统、控制系统。

1、真空系统包括真空管道与腔体、真空泵、真空阀、真空计等，为产物器件提供真空存储环境；

2、测量系统：包括真空度测量、温度测量以及湿度测量；

3、控制系统：根据参数设置要求，自动控制储存室的排气、放气动作。

操作系统：

针对不同的功能，系统界面共设“自动操作界面"、“手动操作界面"、“数据查询界面"、“参数设置界面"、“产物信息界面"。您可在控制界面上通过点击界面切换按钮进入另一操作界面。

自动操作界面：

此界面为默认进入的主界面，可实现“排气"、“放气"、“照明"，以及界面切换等功能。

手动操作界面：

此界面可在手动模式下，单独实现对泵及各阀门的操作，方便日常维护。

数据查询界面：

包含“真空数据查询"、“温度数据查询"