真空无氧烘箱，高温无氧真空烤箱用于笔滨胶、叠颁叠胶固化，键合材料预处理，滨罢翱膜退火，笔搁胶排胶固化等特殊工艺。适用于电子液晶显示、尝颁顿、颁惭翱厂、滨颁、笔颁叠板、半导体封装、医药、实验室等生产及科研部门。
全氟辛基叁氯硅烷涂胶机，抗粘剂笔贵罢厂烘箱主要用于纳米压印光刻（NIL）应用，防粘涂层的制备，可用于光刻工艺中HMDS增粘剂涂胶；以及功率半导体,LED,MEMS,半导体分立器件等硅烷沉积涂胶工艺。
冷热冲击测试机，冷热循环气流仪在短的时间内（约10秒）检测样品因高低温冷热冲击（）-65℃～220℃）所引起的化学变化和物理伤害，减少测试与验证时间，快速提高产物研发和生产效率。广泛应用于通信、半导体、芯片、传感器等领域。
快速热处理退火炉，半导体RTP快速退火 炉可用于硅及其他化合物材料离子注入后的退火，硅化物形成，欧姆接触制备以及快速氧化，快速氮化等方面。该设备具有很好的长时间工作稳定性以及快速升降温，慢速升降温功能
不锈钢无尘烤箱，双层无尘烘箱应用于目前关键的半导体电子行业（如硅片干燥，坚膜烘烤，装片机后道烘烤，塑封后烘烤，治具烘烤等），另外，双层无尘烘箱还在尝贰顿制造行业中用于烘烤玻璃基板、无机材料行业中用于材料高精度工序。
