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坚膜烘箱 百级洁净烘箱 氮气无尘烘箱是通过加温烘烤使胶膜更加牢固的粘附在晶圆表面，并可以增加胶层的抗刻蚀能力的一道光刻胶工艺。

六箱体氮气烘箱，多仓式洁净烘箱选配功能： 辅助降温：水冷、风冷降温 操作界面：人机界面+PLC,工控电脑 录入信息：扫码枪 监测功能：氧含量分析仪等

精密高温热板，掩膜版加热台采用高性能电热管加热，升温快，热效率高，使用寿命更长，维护简单；

洁净无氧烘箱，氮气无氧 烘箱用于触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业.半导体晶片、半导体封装和MEMS器件的批量生产。主要用于PI/CPI固化，BCB固化，PBO固化，LCP纤维热处理。

后曝光氮气烘箱，笔贰叠无尘烘箱所使用的高温（100-130°C）会使光敏化合物扩散，从而消除驻波波纹.百级洁净度无尘化，专用于半导体，集成电路。

聚酰亚胺笔滨无氧烘箱，氮气亚胺化烘箱应用于精密电子元件、PI、CPI/PBO/LCP/BCB胶高温固化烘烤、银胶固化、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求。

氮气烘箱，掩膜板烘箱在掩膜版的生产制造过程中，掩膜版基板在光阻涂布后会有一个烘烤的环节，又称为前烘。