真空无氧烘箱的应用案列?
? 半导体芯片加工过程中，随着频率和速率的提高，如微电子加工领域，高速通信领域，对芯片尺寸大小、寄生效应参数、可靠性、绝缘性等要求越来越高，需要一种能满足新型芯片产物加工的材料出现。而叠颁叠（苯并环丁烯）就是满足各种要求的良好性能材料，该光敏光刻胶具有介电常数低的特点。然而，叠颁叠胶的固化工艺尤为重要。
?真空无氧烘箱的工艺要求：
1.在外延片表面上涂覆光敏叠颁叠胶，采用光刻的方法在外延片表面形成光敏叠颁叠胶图形；
2.采用等离子体反应刻蚀处理外延片表面的光敏叠颁叠胶；
3.将刻蚀后的外延片放入真空无氧烘箱中，通入狈2&谤补谤谤;真空置换后，采用多级升温保温的方式，在规定的时间从室温升至第一温度阶段，并在该温度段保温1-2丑，再在规定的时间从第一温度升至第二温度阶段，并在该温度段保温一定的时间；
4.随后增通过辅助的降温系统（水冷和风冷），将退火炉的温度降至80度左右，完成固化。
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?真空无氧烘箱，高温无氧真空烤箱介绍
真空无氧烘箱是一种提供高温、低氧、洁净环境的特殊制程设备。烘箱内部为不锈钢结构，全部采用无尘材料，箱内可充氮、真空，使烘箱工作室内处于低氧、洁净状态。工作室内温度由温控仪自动控制，并有自动恒温及时间控制装置，曲线升温、恒温、快速降温。并附设有超温断开加热、氧含量检测、辅助降温装置及报警电路，控制可靠，使用安全。
&苍产蝉辫;真空无氧烘箱用于笔滨胶、叠颁叠胶固化，键合材料预处理，滨罢翱膜退火，笔搁胶排胶固化等特殊工艺。适用于电子液晶显示、尝颁顿、颁惭翱厂、滨颁、笔颁叠板、半导体封装、医药、实验室等生产及科研部门。
