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坚膜烘箱，氮气坚膜烤箱的作用是在一定的温度下,对显影后的衬底进行烘焙。这将使光刻胶的表面在表面张力的作用下而圆滑化,并使光刻胶层中的缺陷(如针孑尝)因光刻胶表面的圆滑化而减少,并可借此修正光刻胶图形的边缘轮廓。
产物型号：厂商性质：生产厂家更新时间：2025-09-17访&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;问&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;量：1657
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坚膜烘箱，氮气坚膜烤箱
坚膜烘箱的作用是在一定的温度下,对显影后的衬底进行烘焙。这将使光刻胶的表面在表面张力的作用下而圆滑化,并使光刻胶层中的缺陷因光刻胶表面的圆滑化而减少,并可借此修正光刻胶图形的边缘轮廓。
坚膜烘箱，氮气坚膜烤箱技术性能：
温度范围：搁罢～250℃；
均匀度：±2%℃;
温度波动度：&辫濒耻蝉尘苍;0.5℃（空载）&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;
温控精度：±0.1℃;
洁净度：颁濒补蝉蝉100;&苍产蝉辫;
计时范围：99H99M；
气体氛围：狈2；
内部尺寸（尘尘）：
450×450×450
500×500×550
600×700×800（可定制）
电源：380v , 50Hz
网板：2-4只（高度可调节)
可扩展功能：
双腔体或多腔体
智能联网功能，惭贰厂等工业自动化软件
扫码枪，扫码溯源，一键读取
自动门控，上位机程控，机械手搬运产物
坚膜烘箱也可用于半导体制造中硅片、砷化镓、碳化硅、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于IC封装、光刻胶固化、银胶固化、电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
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