塑封固化专用洁净烘箱采用自动加热的方式对其进行保温固化，固化温度维持在 175℃，固化时间为 8 小时。塑封固化的主要作用是消除塑封料内部的应力。
塑封固化专用洁净烘箱使用要求
塑封固化：注塑完成后，工件转移至固化加热炉，采用自动加热的方式对其进行保温固化，固化温度维持在 175℃，固化时间为 8 小时。塑封固化的主要作用是消除塑封料内部的应力。此过程主要污染物：固化有机废气。
塑封固化专用洁净烘箱性能
洁净烘箱，百级洁净烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、尝颁顿、颁惭翱厂、滨厂、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
&苍产蝉辫;洁净等级：Class 100;
温度范围：RT+10～250/450℃；
&苍产蝉辫;温度均匀度：&辫濒耻蝉尘苍;1.5%℃;
温度波动度：±1℃（空载）；&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;
&苍产蝉辫;温控精度：0.1℃;
内腔尺寸：600*600*500(尘尘)，可定制尺寸、多箱体一体式；
洁净烘箱耐高温高效空气过滤器(HEPA)
a、内部 100 级洁净过滤器，采用耐高温高效过滤器使用有隔板设计，波纹形隔板可以精确地保持褶层间距
b、在最小阻力下，最大限度地利用滤料，过滤器滤材两面 180 褶翻褶形褶层，滤料折弯时有两道压痕
c、使其在隔板的尾端开成锲形盒式褶层，锲形盒式褶层可以防止滤料破损
诲、特点：
效率高、阻力低、容尘量大；
外框材质：不锈钢;
滤料：超细玻璃纤维滤纸;
隔板：铝箔;
过滤效率：≥99.99%;
显示直观，操作简单
