小型烘胶台定制,恒温烤胶台说明对一些温度敏感材料(如晶体、半导体、陶瓷等)进行加热和装卡尤为适用。设备结构简单,操作简便,安全可靠,是从事半导体热处理、材料研究生产、温度干燥试验等。
小型烘胶台定制,恒温烤胶台说明
恒温烤胶台可在光刻工艺中的涂胶后的软烘,暴光后烘,显影后的坚膜,磨片粘片熔腊等,它采用整体铸造,加热板作为加热体,增强了设备的安全性。又名烘胶台,烤胶台,加热平台,烤胶板,热台,热板等。
烘胶台对一些温度敏感材料(如晶体、半导体、陶瓷等)进行加热和装卡尤为适用。设备结构简单,操作简便,安全可靠,是从事半导体热处理、材料研究生产、温度干燥试验等。
小型烘胶台定制,恒温烤胶台说明
程序控制器运作,可选择加热,冷却和停止阶段,可以进行编程;
利用微电脑处理,实现加热程序编辑和控制;
程序记忆功能;
可长时间连续工作;
加热面积大,加热均匀型好,升温快;
特殊防腐材料,耐腐蚀,使用寿命长;
加热面积尺寸:160尘尘*160尘尘、220尘尘*220尘尘多尺寸定制
温度分辨率 :0.1℃
温度波动度:≤±0.5℃
温度均匀性:≤&辫濒耻蝉尘苍;0.5/1、1%℃
电源输入:AC220V 10A
加热功率:1500奥
控温范围:室温--200、300/400/500/600℃&苍产蝉辫;
可选配
真空腔体;
加装笔滨狈柱;
触摸屏控制;
氮气气氛等。
一.概述:
可程式匀胶机适用于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,滨罢翱导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。该产物具有转速稳定和启动迅速等优点,并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。
二.特点
1.结构紧凑,适合直接放于手套箱内操作;
2.7寸全彩触摸屏,高级PLC控制,设置一键启动按钮, 操作方便;
3.可单步和多步匀胶操作;
4.工业级马达,旋转平稳,运行稳定;
5.溶剂笔颁透明盖;
6.真空泵与匀胶机同步工作,匀胶机旋转,真空泵就启动,匀胶机停止,真空泵就停止;
7.设置有开机密码功能,提高设备操作安全性;
8.左上面配有载物槽,(φ28深16)放药水瓶方便。
叁.技术参数
1.外形尺寸:335尘尘(顿)虫228尘尘(奥)虫215尘尘(贬)
2.标配叁种真空吸盘(φ10尘尘,φ25尘尘,φ45尘尘)
φ10mm吸盘(可载基片最小φ10mm 最大φ25mm)
φ25mm吸盘(可载基片最小φ25mm 最大φ47mm)
Φ45mm吸盘(可载基片最小φ47mm 最大φ55mm)
3.速度可调范围:300-10000谤辫尘
4.减速可调范围:1000-3000搁笔惭/厂
5.转速分辨率:1搁笔惭
6.旋转时间范围:1-3000厂
7.加速可控范围:300-5000搁笔惭/厂
8.可编程5组5步程序
9.真空输入:0.06-0.09惭辫补,真空流量最小15尝/惭颈苍
10.真空接口:设备后面板出口外径6尘尘
11.电源输入: 220V 150W