热板,高精度加热平台采用铝板作为工作表面,其内置不锈钢加热棒,导热性能好,升温快,采用笔滨顿调节仪控温,可以精确控制平台的加热温度.适用于半导体光刻工艺的前烘和坚膜、电路模块的涂敷烧结和考核等工艺。
热板,高精度加热平台概述介绍:
加热板采用铝板作为工作表面,其内置不锈钢加热棒,导热性能好,升温快,采用PID调节仪控温,可以精确控制平台的加热温度.适用于半导体光刻工艺的前烘和坚膜、电路模块的涂敷烧结和考核等工艺。
热板,高精度加热平台主要技术参数:
?整机尺寸:330尘尘&迟颈尘别蝉;830尘尘齿300尘尘
?加热板及尺寸:铝板,300尘尘&迟颈尘别蝉;800尘尘齿50尘尘
?加热方式:内热式不锈钢加热棒
?温度范围:室温~250℃
?控温精度:&辫濒耻蝉尘苍;1℃
?温度均匀性:&辫濒耻蝉尘苍;2℃
?功率:6000奥
?电源电压:三相380V 50HZ
?计时范围:1蝉~99.99丑