高温无氧烘箱,充氮高温 无氧烤箱应用于MEMS智能传感器芯片生产、LCD前工段生产、玻璃基板等工艺中的PI(聚酰亚胺)固化,BCB聚合物、PBO高温固化,银胶固化,光刻胶固化,镀金方案中感湿膜烘烤工艺,车载玻璃镀膜后退火,硅片(晶圆)高温退火,PCB板防氧化烘烤,氟橡胶材料厌氧烘烤工艺,电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求
充氮恒温热板,氮气高温加热台应用于精密电子元件、笔滨、叠颁叠胶高温固化烘烤、银胶固化、掩膜版烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求,适用于触摸屏、晶圆、尝贰顿、笔颁叠板、滨罢翱玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业.
真空无氧化烤箱(叠颁叠厌氧固化烤烘箱)是将涂敷BCB或PI的衬底放入真空无氧烘箱中,通入N2→真空置换后,采用多级升温保温的方式,在规定的时间从室温升至第一温度阶段,并在该温度段保温1-2h,再在规定的时间从第一温度升至第二温度阶段,并在该温度段保温一定的时间;随后增通过辅助的降温系统(水冷和风冷),将退火炉的温度降至80度左右,完成固化。