智能型无尘无氧烘箱,高温无尘 无氧化烘箱又称为PI固化烘箱,厌氧烘箱,高温无氧烘箱,用于PI、BCB胶高温固化、LCP热处理烘烤、光刻胶固化等电子,半导体、新材料行业。
氮气真空无氧烘箱,高温无氧真空烘箱用于键合前键合材料的真空固化 、LCP膜热处理,BCB/PI胶固化等工艺。 广泛应用于半导体、电子产物、新材料、医疗卫生等行业,适用于工厂、高等院校、科研等场所。
真空无氧烘箱,笔滨固化厌氧烤箱用于PI/BCB/LCP固化,半导体封装等。 温度范围:RT+30~450℃; 温度波动度:±1℃; 温控精度:0.1℃; 氧浓度:10ppm 真空度:100pa
湿敏薄膜专用高温无氧烘箱将基底溶液聚酰胺酸悬涂在制备有牺牲层的载体硅片上,采用惭贰惭厂工艺制作湿度敏感单元,本文制作的湿度传感器采用“叁明治”结构,包括上电极、感湿层和下电极,上下电极均采用蒸镀工艺,蒸镀金作为电极;感湿膜为聚酰亚胺材料,采用旋涂的方法制备感湿层