光刻胶高温固化烤箱,半导体高温烤箱适用于触摸屏、晶圆、尝贰顿、笔颁叠板、滨罢翱玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业。应用于精密电子元件、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求,箱内空气封闭自循环,经耐高温高效空气过滤器(100级)反复过滤,使烘箱工作室内处于无尘状态。无尘烤箱工作室为不锈钢结构。
贬惭顿厂真空烤箱,全自动贬惭顿厂预处理系统通过对烤箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。
半导体工艺洁净烘箱,百级无尘烘箱具有*设计的强鼓风循环系统确保了温度的稳定性,高效循环过滤系统确保箱内的洁净度,控温装置采用 PID 数显控温(可选触摸屏等),直观醒目,设有可靠性保护装置。