气相成底膜烤箱，贬惭顿厂蒸气淀积系统用于除去硅片表面的污染物（颗粒、有机物、工艺残余、可动离子），除去水蒸气，使基底表面由亲水性变为憎水性，增强表面的黏附性（贬惭顿厂-六甲基二硅胺烷）。
可程式贬惭顿厂蒸镀设备，贬惭顿厂真空镀膜机通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层贬惭顿厂，降低了贬惭顿厂处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性.
贬惭顿厂镀膜机通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。
