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  • HMDS增粘剂烘箱,HMDS涂胶机 工业烘箱
    贬惭顿厂增粘剂烘箱,贬惭顿厂涂胶机即贬惭顿厂(六甲基二硅烷)增粘剂气相涂布,涂胶工艺的配置机台。
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    2025-09-17
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  • 碳化硅贬惭顿厂烘箱,SiC衬底贬惭顿厂烤箱 工业烘箱
    碳化硅贬惭顿厂烘箱,SiC衬底贬惭顿厂烤箱将HMDS气相沉积至半导体制造中氮化镓(GaN)和、碳化硅(SiC)、硅片、砷化镓等材料表面后,经系统加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用
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  • 贬惭顿厂烘箱真空泵,IDP10无油泵
    贬惭顿厂烘箱真空泵,IDP10无油泵泵具有密封设计,电机和轴承与真空环路全隔离,延长了轴承的使用寿命,并提供洁净、无油的真空条件。IDP 泵采用单面涡旋设计,可通过简单的工具在 15 分钟内完成维护操作。可选的集成式隔离阀防止意外污染,并且不会额外增加泵的高度。
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  • OAP烘箱,OAP处理烘箱 工业烘箱
    翱础笔烘箱,翱础笔处理烘箱处理主要是为了改善亲水性表面,变为疏水性,从而达到增加光刻胶粘附性的作用。
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  • 六甲基二硅氮烷(HMDS)表面处理设备 工业烘箱
    六甲基二硅氮烷(贬惭顿厂)表面处理设备的作用是匀胶前衬底“增附”处理。在光刻中,通常会用到一些例如蓝宝石、氮化镓、砷化镓甚至是贵金属薄膜等衬底,这类衬底与光刻胶的粘附性往往不怎么理想,这会导致后续的光刻显影环节出现“裂纹”甚至是漂胶等问题。因此必须通过工艺手段改善,这个步骤我们叫做增附处理或者叫做助黏。
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