硅片HMDS涂布机台,4寸Wafer hmds烤箱是将 HMDS 涂到硅片表面后,经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水, 其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。
HMDS pretreatment system, HMDS oven reducing the contact angle of the silicon wafer after HMDS treatment The amount of photoresist to improve the adhesion of photoresist and silicon.
silicon wafer 贬惭顿厂烤箱,HMDS OVEN1、预处理性能更好 2、处理更加均匀 3、效率高 4、更加节省药液 5、更加环保和安全 6、低液报警装置 7、可自动吸取HMDS功能 8、可自动添加HMDS功能 9、HMDS药液泄漏报警功能 10、HMDS紧急疏散功能 11、数据记录打印功能
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蓝宝石增粘烘箱, 贬惭顿厂烘箱将HMDS涂到半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面后,经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。